Требования к качеству воды для электронной промышленности

Деионизированная (деионизованная) вода — это глубоко обессоленная сверхчистая вода, не содержащая ионов примесей. В зависимсоти от назначения деионизованная вода имеет удельное сопротивление 1МОм•см и более. Деионизацию осуществляют с помощью ионообменных смол с предварительным использвоанием обратного осмоса. Деионизованная вода применяется в электронном приборостроении, энергетике, при выращивании кристаллов, производстве печатных плат. В микроэлектронике используется деионизированная (деионизованная) вода трёх классов чистоты: класс «В» — вода, получаемая из исходной путём предварительной подготовки и деионизации на установках централизованной очистки воды, класс «Б» — вода, получаемая из воды класса «В» путём финишной деионизации и очистки от бактериальных и микрочастиц размером 0,2 мкм, класс «А» — вода высшей степени чистоты, получаемая из воды класса «Б» путём финишной деионизации с применением систем стерилизации, микрофильтрации, ультрафильтрации и обратного осмоса. Для получения глубоко обессоленной воды ООО «БМТ» предлагает линейку мембранных деионизаторов производительностью 5, 10, 25, 35, 50 и 100 л/ч методами обратного осмоса, ионного обмена и электродеионизации.

Показатель

ASTM D1193-06 Технический норматив для воду для реактивов

Степень чистоты

Тип I

Тип II

Тип III

Тип IV

Электропроводность при 25°С, мкСм/см

0,055

1,0

0,25

5,0

Электросопротивление при 25°С, МОм·см

18

1,0

4,0

0,2

рН при 25°С

*

*

*

5,0-8,0

Общий органический углерод, мкг/л

50

50

200

без ограничения

Натрий, мкг/л

1

5

10

50

Хлориды, мкг/л

1

5

10

50

Кремний, мкг/л

3

3

500

без ограничения

 

Показатель ОСТ 11.029.003-80 с изменениями
А Б В
Удельное сопротивление при t 20±2°C, МОм•см 18 17 5
Органические вещества - перманганатная окисляемость, мг О2/л, не более 0,5 0,6 1,0
Общий органический углерод, мкг/л, не более      
Кремниевая кислота, мг/л, не более 0,01 0,01 0,05
Железо, мг/л, не более 0,002 0,005 0,01
Медь, мг/л, не более 0,002 0,002 0,003
Хлориды, мкг/л, не более      
Никель, мкг/л, не более      
Нитраты, мг/л, не более      
Фосфаты, мг/л, не более      
Сульфаты, мг/л, не более      
Калий, мкг/л, не более      
Натрий, мкг/л, не более      
Цинк, мкг/л, не более      
Микрочастицы, шт/мл 2 20 50
Минимальный размер частиц, мкм 1 1 5
Микроорганизмы, колоний/мл 1 2 10

 

Показатель   ASTM D-5127-13
Е-1 Е-1.1 Е-1.2В Е1-1.3В Е2 Е3 Е4
Удельное сопротивление при t 25°C, МОм•см 18,1 18,2 18,2 18,2 16,5 12 0,5
Органические вещества - перманганатная окисляемость, мг О2/л, не более              
Общий органический углерод, мкг/л, не более  5 2 1 1 50 300 1000
Железо, мг/л, не более              
Медь, мг/л, не более 0,05 0,02 0,002 0,001 1 2 500
Микрочастицы размером 1-5 мкм, шт/л, не более              
Микроорганизмы, колоний/мл, не более              
Хлориды, мкг/л, не более  0,1 0,05 0,02 0,050 1 10 1000
Никель, мкг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 1 2 500
Нитраты, мг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 1 5 500
Фосфаты, мг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 1 5 500
Сульфаты, мг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 1 5 500
Калий, мкг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 - - -
Натрий, мкг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 1 5 1000
Цинк, мкг/л, не более  0,05 0,02 0,002 0,001 1 5 500

Оставьте заявку, и наш специалист свяжется с Вами для уточнения деталей

Нажимая кнопку, я принимаю соглашение о конфиденциальности и соглашаюсь с обработкой персональных данных