Ультрачистая вода для микроэлектроники

Ультрачистая вода для микроэлектроники

В связи с быстрым развитием микроэлектроники растёт потребность в получении особо чистой воды. Ультрачистая вода используется в производстве печатных плат, телевизионных трубок, интегральных микросхем, полупроводников, микропроцессоров, транзисторов и ЖК дисплеев. Большинство изделий изготавливают методом химической обработки поверхности монокристаллической кремниевой пластины. После каждой стадии производства поверхность пластины должна быть обработана так, чтобы с неё смылись вещества, которые использовались на предыдущей стадии. Это могут быть флюсы, клей, паяльная паста и другие соединения, используемые как в пайке, так и в ведении в кремниевую пластину электрически активных примесей. Для отмывки пластины и получения тем самым химически чистой поверхности требуется ультрачистая вода. Так, в технологии производства интегральных микросхем кремниевая пластина подвергается как минимум 50 циклам обработки деионизованной ультрачистой водой. В среднем на отмывку одной пластины тратится около 5000 л ультрачистой воды.

Ультрачистая вода, применяемая для отмывки кремниевых пластин, не должна содержать никаких загрязнителей, к которым обычно относятся ионы натрия и хлора. Нельзя допустить, чтобы после испарения промывной ультрачистой воды на пластине остались какие-либо примеси, присутствующие в ультрачистой воде. Они могут привести к дефектам пластины, коррозии, снижению сопротивления изоляции, искажению рисунка слоёв и другим проблемам.

Электронная промышленность предъявляет самые высокие требования к процессу получения ультрачистой воды. Они устанавливают необходимость удаления из воды всех ионов. Специально подготовленная деионизованная ультрачистая вода должна иметь удельное сопротивление 18 МОм×см и по основным показателям соответствовать ОСТ 11.029.003-80. Получение ультрачистой воды осуществляется на специальных установках - деионизаторах, сочетающих комбинированные схемы водоочистки: ультрафильтрацию, мембранный обратный осмос, ионный обмен или электродеионизацию. Деионизаторы имеют модульную конструкцию и могут выполнять как предочистку воды, так и дополнительную обработку особо чистой воды в ходе её хранения и подачи потребителю.

Оставьте заявку, и наш специалист свяжется с Вами для уточнения деталей

Нажимая кнопку, я принимаю соглашение о конфиденциальности и соглашаюсь с обработкой персональных данных